Research, testing and scientific technical simulator (оригинал извещения) (Италия - Тендер #48319754) | ||
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Страна: Италия (другие тендеры и закупки Италия) Организатор тендера: ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR Номер конкурса: 48319754 Дата публикации: 21-11-2023 Сумма контракта: 50 174 177 (Российский рубль) Цена оригинальная: 850 000 (Евро) Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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SISTEMA PER LA RIMOZIONE DI MATERIALI IN PLASMA DELLA TIPOLOGIA RIE Reattive Ion Etching
Numero di riferimento: A02B3C5E93FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
CNR-IFN TRENTO C/O LABORATORIO CLEANROOM CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarie, 18 - 38123 Povo (Trento)
FORNITURA, INSTALLAZIONE E MESSA IN FUNZIONE DI UN SISTEMA DI PLASMA ETCHING PER LA RIMOZIONE IN PLASMA DI OSSIDI, OSSI-NITURI E NITURI DI SILICIO, POLI-SILICIO, DROGATO SU LOTTI DI PRODUZIONE DA 25 WAFER DI SUBSTRATI DA 150 MM PREDISPOSTI PER TRATTARE SUBSTRATI DA 200 MM.
PNRR MISSIONE 4 COMPONENTE 2 INVESTIMENTO 3.1 PROGETTO NFFA-DI "NANO FOUNDRIES AND FINE ANALYSIS - DIGITAL INFRASTRUCTURE CUP B53C22004310006
PIATTAFORMA TELEMATICA ASP