Research, testing and scientific technical simulator (оригинал извещения) (Италия - Тендер #48110381)

1. Sezione I
   1. Denominazione e indirizzi
      ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR
      Via Sommarive 18
      TRENTO
      38128
      Italy
      Tel.: +39 0223996281
      E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it
      
   2. Tipo di amministrazione aggiudicatrice:
      Altro tipo: ente pubblico nazionale
      
   3. Principali settori di attività:
      Altre attività: ricerca scientifica
      
2. Sezione II
   1. Entità dellappalto :
      1. Denominazione:
         

         sistema per la rimozione di materiali in plasma della tipologia RIE Reactive Ion Etching

         Numero di riferimento: A01C1D6834
         
      2. Codice CPV principale:
         38970000
         
      3. Tipo di appalto:
         Forniture
         
      4. Breve descrizione:
         

         GARA DESERTA PER MANCANZA DI OFFERTE

         fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.

      5. Informazioni relative ai lotti:
         Questo appalto è suddiviso in lotti: no
      6. Valore totale dell’appalto:
         Valore
   2. Descrizione
      1. Denominazione:
         
      2. Codici CPV supplementari:
         
         
      3. Luogo di esecuzione:
         Luogo principale di esecuzione:

         CNR-IFN TRENTO laboratorio Cleanroom CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarive 18, 38123 Povo – Trento

         modalità di collocazione della strumentazione: throught the wall

      4. Descrizione dellappalto:
         

         GARA DESERTA - NESSUNA OFFERTA PRESENTATA

         fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.

      5. Criteri di aggiudicazione:
         Criterio di qualità - Nome: pregio tecnico / Ponderazione: 70
         Prezzo - Ponderazione: 30
         
      6. Informazioni relative alle opzioni:
         Opzioni: no
      7. Informazioni relative ai fondi dellUnione europea:
         
      8. Informazioni complementari:
         
3. Sezione IV
4. Descrizione:
   1. Tipo di procedura:
      Procedura aperta
   2. Informazioni su un accordo quadro o un sistema dinamico di acquisizione:
      
   3. Informazioni sullasta elettronica:
      
   4. Informazioni relative allaccordo sugli appalti pubblici (AAP):
      Lappalto è disciplinato dallaccordo sugli appalti pubblici: no
5. Informazioni di carattere amministrativo:
   1. Pubblicazione precedente relativa alla stessa procedura:
      Numero dellavviso nella GU S: 2023/S 201-629715
      
   2. Informazioni relative alla chiusura del sistema dinamico di acquisizione:
      
   3. Informazioni relative alla fine della validità dellavviso di indizione di gara in forma di avviso di preinformazione:
      

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