Research, testing and scientific technical simulator (Италия - Тендер #48110381)

1. Section I
   1. Name and addresses
      ISTITUTO DI FOTONICA E NANOTECNOLOGIE DEL CNR
      Via Sommarive 18
      TRENTO
      38128
      Italy
      Telephone: +39 0223996281
      E-mail: alessandra.brocca@ifn.cnr.it
      
   2. Type of the contracting authority:
      Other type: ente pubblico nazionale
      
   3. Main activity:
      Other activity: ricerca scientifica
      
2. Section II
   1. Scope of the procurement:
      1. Title:
         

         sistema per la rimozione di materiali in plasma della tipologia RIE Reactive Ion Etching

         Reference number: A01C1D6834
         
      2. Main CPV code:
         38970000
         
      3. Type of contract:
         Supplies
         
      4. Short description:
         

         GARA DESERTA PER MANCANZA DI OFFERTE

         fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.

      5. Information about lots:
         This contract is divided into lots: no
      6. Total value of the procurement:
         Value
   2. Description
      1. Title:
         
      2. Additional CPV code(s):
         
         
      3. Place of performance:
         Main site or place of performance:

         CNR-IFN TRENTO laboratorio Cleanroom CR D presso la Fondazione Bruno Kessler, Via Sommarive 18, 38123 Povo – Trento

         modalità di collocazione della strumentazione: throught the wall

      4. Description of the procurement:
         

         GARA DESERTA - NESSUNA OFFERTA PRESENTATA

         fornitura, l’installazione e la messa in funzione di un sistema di Plasma Etching per la rimozione in plasma di Ossidi, Ossi-nitruri e Nitruri di silicio, Poli-silicio, drogato e non drogato su lotti di produzione da 25 wafer di substrati da 150 mm, predisposti per trattare substrati da 200 mm. L‘apparecchiatura sarà collocata in modalità through the wall presso la cleanroom DETECTOR della Micro-nano Characterization and Fabrication Facility, Fondazione Bruno Kessler di Trento, in via Sommarive 18.Lo spazio disponibile massimo per l’apparecchiatura è di 1.35 m (larghezza), 2.5 m (profondità), 2.4 m (altezza). Il Concorrente dovrà indicare l’ingombro dell’apparecchiatura, incluse le aree di servizio (clearance) ottimizzando la disposizione all’interno della stessa. Saranno escluse le apparecchiature il cui ingombro eccede l’area disponibile.

      5. Award criteria:
         Quality criterion - Name: pregio tecnico / Weighting: 70
         Price - Weighting: 30
         
      6. Information about options:
         Options: no
      7. Information about European Union funds:
         
      8. Additional information:
         
3. Section IV
4. Description:
   1. Type of procedure:
      Open procedure
   2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
      
   3. Information about electronic auction:
      
   4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
      The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: no
5. Administrative information:
   1. Previous publication concerning this procedure:
      Notice number in the OJ S: 2023/S 201-629715
      
   2. Information about termination of dynamic purchasing system:
      
   3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
      

Источник закупки

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