Industrial machinery (Германия - Тендер #47290888)

1. Section I
   1. Name and addresses
      IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
      Im Technologiepark 25
      Frankfurt (Oder)
      15236
      Germany
      Telephone: +49 335-5625-359
      E-mail: rohner@ihp-microelectronics.com
      Fax: +49 335-5625-25359
      
   2. Type of the contracting authority:
      Other type: Forschung und Entwicklung
      
   3. Main activity:
      Other activity: Forschung und Entwicklung
      
2. Section II
   1. Scope of the procurement:
      1. Title:
         

         Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums

         Reference number: IHP-2022-090
         
      2. Main CPV code:
         42000000, 42000000, 38000000, 42000000, 38000000, 42000000, 38000000, 42000000, 38000000, 42000000, 38000000
         
      3. Type of contract:
         Supplies
         
      4. Short description:
         

         Austausch von Anlagen im Rohrätz-/Teilereinigungsraum des Reinraums

      5. Information about lots:
         This contract is divided into lots: yes
      6. Total value of the procurement:
         Value excluding VAT: 116 953.00 EUR
   2. Description
      1. Title:
         

         Nassstrahlanlage

      2. Additional CPV code(s):
         42000000, 38000000
         
      3. Place of performance:
         Main site or place of performance:

         IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

      4. Description of the procurement:
         

         Folgende technische Eigenschaften/Bedingungen müssen gewährleistet sein:

         - max. Gesamtbreite 2500 mm, max. Gesamthöhe 2300 mm, max. Gesamttiefe 1850 mm

         - max. Maschinengewicht 900 kg

         - max. Geräuschpegel 79-83 db(A)

         - Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

         - Fertigung aller medienberührten Teile und der Strahlkabine komplett in Edelstahl- bzw. Kunststoff-Bauweise

         - hochvolumige, verschleißresistente Nassdruckstrahl-Medienpumpe der Größe NW 40 aus Polyurethan

         - Innenbeleuchtung der Strahlkammer in 24 V DC-LED-Ausführung in IP 67

         - Anordnung aller Ventile und Anschlüsse auf dem Maschinendach

         - guter Zugang zur Strahlpumpe

         - Verwendung von doppelwandigem Schallschutz-Sicherheitsglas als Fenster für Prozessbeobachtung

         - Innenseite Verkleidung mit verschleißresistenten, austauschbaren PU-Vorhängen

         - 2 manuelle horizontale Türen für Beladung und Wartung

         - Beide Türen mit jeweils 2 Türhebeln versehen

         - Blend- und Schalldämmbleche im unteren Anlagenbereich für verbesserte Geräuschdämmung

         - Beladestation in Edelstahl, rechts angebaut, mit Rollwagen und verschleißfestem, stabilem Drehteller aus Polyurethan (Durchmesser ca. 830 mm)

         - Ring aus Edelstahl mit ca. 830 mm Außendurchmesser, damit keine Teile vom Drehteller fallen können

         - manuelles pneumatisches Druckluft Servo-Ventil mit Luftmembranventil und Manometer

         - Elektrischer Scheibenwischer-Motor mit Wischer-Arm und Wischer-Blatt

         - Filtertank in Edelstahl mit feinem, großem Filtersack, incl. pneumatischer Membran-Spülpumpe, Überlaufventil an Rückseite der Anlage montiert und zusätzliche manuelle Spülpistole, um das Innere der Anlage abzuspülen

         - alle Ventile sind als pneumatischen Quetschventile auszuführen

         - Scheibenspülung über Kreislaufwasser, mit Edelstahl-Beutelfilter

         - manuelle Messmöglichkeit der Medienkonzentration über 2 Ventile, angebaut an Maschinenrückseite, incl. Messglas 1000 ml mit feiner 1 % Skala incl. Quetschventil

         - Zyklon an Rückwand der Anlage, zum schnellen und einfachen Strahlmedienwechsel, angebaut

         - Filtertank mit Spülpumpe

         - manuelle Spül- und Blaspistole an der Be- und Entladestation

         - Schaltschrank, an hinterer Rückseite der Anlage montiert; bei Verwendung einer SPS eine von Siemens verwenden

         - Zusätzliche Strahlpistole mit Lanze aus Edelstahlrohr mit Luft- und Strahlmedienanschluss für die Bearbeitung kleinster Teile mit kleinsten Öffnungen

         - Magnetventile im Zulauf des Wassers und der Scheibenspülung, letzteres gekoppelt am Einschalten der Pumpe

         - zusätzlich Handventil zur Einregulierung der Wassermenge der Scheibenspülung

         - Angebot eines Verschleißteil-Pakets

         - Inbetriebnahme und Einweisung im IHP

         - Inklusive Verpackung und Transport

      5. Award criteria:
         
      6. Information about options:
         Options: no
      7. Information about European Union funds:
         The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      8. Additional information:
         
      9. Title:
         

         Rohr-/Teilereinigungsanlage

      10. Additional CPV code(s):
          42000000, 38000000
          
      11. Place of performance:
          Main site or place of performance:

          IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

      12. Description of the procurement:
          

          Das Hauptaugenmerk erstreckt sich dabei auf Teile aus den Gebieten der Oxidation und Epitaxie.

          Technische Daten/Eigenschaften:

          - Allgemein

          - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

          - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1500 mm; max. Anlagenbreite 3400 mm

          - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

          - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%),

          - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP gestalten

          - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen (EU-Maschinenrichtlinie usw.)

          - Gehäuse

          - Anlage zweigeteilt aus 1. einer Rohrätzanlage für die vertikale Reinigung von 1 Quarzrohr bzw. 1 Boat und einer zusätzlichen Kleinteilereinigung allgemein und im speziellen für die Umwälzdurchströmung von vorhandenen Kompaktfiltern mit HF und 2. einen mit einem Becken versehenen Bereich z.B. für die Kammerreinigung von Epitaxie-Anlagen. Für diesen ist ebenfalls eine Umwälzung der Chemie mittels Membranpumpe vorzusehen.

          - Korpus aus PP-natur, Fronttüren aus transparentem chemiebeständigem Material gesamte Anlage im unteren Bereich mit einer Leckagewanne und Lecksensor versehen

          - Gesamte Bauweise in mediensparender Bauweise

          - LED-beleuchtete Prozesskammer

          - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen, mit einem bzw. mehreren Abluftanschluss/-schlüssen versehen und mit einer oder mehreren beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch, pneumatisch oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein

          - Ätz- und Reinigungskomponenten

          - Säuretanks aus PVDF mit ca. 35 l Inhalt

          - Membranpumpen für die Sprühreinigung

          - Automatischer Sprühkopf für die "Liner"-Reinigung

          - Automatisches Verfahren vertikal mit Sprühdüsen für die Rohrreinigung

          - Sprühstange für Quarz-"Boate"

          - Spezialolivenanschluss für die Reinigung der Gaseinlässe

          - Prozesskammer

          - Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen

          - Türsicherheitsüberwachung während des Prozesses

          - Türreinigungsmöglichkeit von oben und von unten

          - Kammerreinigungsmöglichkeit

          - Kammerhavarieabfluss

          - Abflusssieb

          - Aufnahmemöglichkeit für Quarz-"Boate" und "Paddles"

          - Max. Rohrabmaße Durchm. 400 mm; 1,15 m Länge

          - Einstellbare Abluftklappe mittels Servoantrieb

          - Integrierte Leitfähigkeitsmesszelle

          - Handbrausen für N2+ Di-Wasser an beiden Anlagenteilen

          - Prozesskontrolle

          - leichte Bedienung und Prozesskontrolle mittels Touchpanel

          - PLC-Contoller mit ?10"-Touchpanel

          - Als Steuerung ist "Simatic" von der Fa. Siemens bevorzugt zu verwenden

          - 3 Passwortebenen (Bediener, Prozessingenieur, Service) für autorisierten Zugang

          - Programmiermöglichkeit von min. 40 Rezepten und jedes mit 20 Einzelschritten

          - Variable Dateneingaben (Zeit, Temperatur, Geschwindigkeit, Parameter usw.)

          - Der zweite Bereich der Anlage ist mit einem Becken in der Größe von 1,20 m Länge x 0,40 m Breite und einer Tiefe von 0,30 m auszustatten. Gefälle ist zu beachten.

          - Im zweiten Teil ist ferner ein DI-Wasser-Standhahn anzubringen.

          - Alle Bedienelemente von Brausen bzw. dem Standhahn sind in der Frontblende zu positionieren.

          - Beide Anlagenteile sind mit entsprechender interner PFO-Gestaltung und äußeren Anschlüssen zu versehen.

          - Abflussmäßig sind verschiedene Anschlüsse (Chemie und Spülwasser getrennt und für das Spülwasser selbst noch einmal 2 separate Wege (Umschaltmöglichkeit je nach dem in der Software eingestellten Leitwert)) zu unterscheiden

      13. Award criteria:
          
      14. Information about options:
          Options: no
      15. Information about European Union funds:
          The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      16. Additional information:
          
      17. Title:
          

          Reinigungsanlage für die vorwiegende Reinigung von Metallisierungs- und Trockenätzanlagen-Teilen

      18. Additional CPV code(s):
          42000000, 38000000
          
      19. Place of performance:
          Main site or place of performance:

          IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

      20. Description of the procurement:
          

          Ein wichtiges Kriterium für die für diesen Aufgabenbereich zuständige Anlage ist, sie muss über eine für den Benutzer frei erstellbare Rezeptmöglichkeit verfügen und dann automatisch abarbeiten. Dazu ist ein dementsprechendes Handlingsystem vorzusehen.

          Es muss gewährleistet sein, dass alle im Anhang aufgelisteten Teile in höchster Qualität gereinigt werden und somit der Wiederverwendung zur Verfügung stehen. Die Reinigungsprozeduren sind vom Anbieter selbst zu erstellen und dem IHP vorzuführen.

          Die nachstehend genannten Punkte sind dennoch dabei miteinzuarbeiten.

          Technische Daten/Eigenschaften:

          - Allgemein

          - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

          - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm; max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr wichtiges Kriterium.

          - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

          - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material auszuführen (verwendete Chemikalien: konz. HNO3 (69%), Konz. HF (50%), Wasserstoffperoxid (31 %), Ammoniumhydroxid (28%), Aceton, Isopropanol

          - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten

          - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen (EU-Maschinenrichtlinie usw.)

          - Gehäuse

          - Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw. einen Vorortzusammenbau gewährleisten.

          - Die Anlage soll mit 2 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet sein

          - Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch zu versorgen.

          - Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht werden.

          - Korpus aus PP-natur, Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem chemiebeständigem Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch angetrieben)

          - Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage

          - gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Leckageauffangwannen und -sensoren versehen (bei Auslösung hat eine optische Signalisierung und DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu erfolgen.

          - den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit horizontalen Schiebetüren versehen

          - LED-beleuchteter Prozessbereich

          - Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit Abwasseranschluss versehen.

          - Die Anlage ist mit entsprechender interner PFO-Gestaltung und äußeren Anschlüssen zu versehen.

          - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen und mit einer oder mehreren beweglichen Frontscheiben bzw. Fronttüre/n (mechanisch, pneumatisch oder elektrisch öffnend bzw. schließend) versehen sein

          - Ätz- und Reinigungskomponenten

          - Folgende Becken müssen integriert sein:

          - 1 Ultraschallbecken groß (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe) lösemitteltauglich, 1 Ultraschallbecken klein (300 mm x 240 mm x 200 mm Tiefe) lösemitteltauglich, 1 Spülbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe), 1 Ätzbecken (400 mm x 400 mm x 300 mm Tiefe), 1 Ätzbecken beheizt (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe) (Heizleistung 2 kW, trockengehschutzüberwacht, eine eventuell ins Beckeninnere montierte Heizung ist durch eine Roste vor Beschädigung zu schützen), 1 Spülbecken (600 mm x 600 mm x 520 mm Tiefe)

          - Alle Spülbecken sind mit einer integrierten Leitfähigkeitsmesszelle (je nach einstellbarem Wert) zur Abflussumschaltung zwischen 2 Wegen (Neutra+ Reclaim) auszustatten.

          - Alle Prozessbecken müssen so mit Anschlüssen und Ventilen samt Umschaltbetätigung ausgerüstet sein, dass 2 verschiedene Abflusswege gewährleistet werden.

          - Handbrausen für N2+ Di-Wasser jeweils an beiden Anlagenteilen

          - Variable Dateneingaben für Prozesssteuerungen (Zeit, Temperatur, Leitwert)

          - Geeignete Hubeinrichtungen/Hilfsmittel für gefahrlose Entnahme/Beschickung der Prozeßbecken bei Chemieanwendung ermöglichen

      21. Award criteria:
          
      22. Information about options:
          Options: no
      23. Information about European Union funds:
          The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      24. Additional information:
          
      25. Title:
          

          Beckenanlage für die Einzel-Präparation von Siliziumscheiben

      26. Additional CPV code(s):
          42000000, 38000000
          
      27. Place of performance:
          Main site or place of performance:

          IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

      28. Description of the procurement:
          

          Technische Daten/Eigenschaften:

          - Allgemein

          - Für Spannungsversorgung 400 VAC / 50-60 Hz

          - Max. Anlagenhöhe 2650 mm; max. Transporthöhe 2400 mm einschl. einer evtl. zum Transport benötigten Hubwagenhöhe; max. Anlagentiefe 1300 mm; max. Anlagenbreite 4000 mm; Platzsparende Bauweise ist ein sehr wichtiges Kriterium.

          - Eignung zur Aufstellung in einem Reinraum der ISO-Klasse 1000

          - Alle medienberührten Teile sind aus entsprechend beständigem Material auszuführen (verwendete Chemikalien: Aceton, Isopropanol, NaOH)

          - Medienzuführung/-entsorgung (Chemie) ist entsprechend zum Anschluss an das Ver- und Entsorgungssystem des IHP zu gestalten

          - Herstellung unter Einhaltung aller gültigen Normen (EU-Maschinenrichtlinie usw.)

          - Gehäuse

          - Anlage muss entsprechend des Einbringweges aufgebaut werden bzw. einen Vorortzusammenbau gewährleisten.

          - Die Anlage soll mit 4 Stck. 230V-Steckdosen frontseitig ausgestattet sein

          - Weitere elektrische Einbauverbraucher sind separat intern elektrisch zu versorgen.

          - Ebenfalls frontseitig sollen alle Bedienelemente untergebracht werden.

          - Korpus bevorzugt aus PP-natur oder aber auch PP-weiß möglich, Frontschiebetüren vertikal (aus transparentem chemiebeständigem Material) verschiebbar (elektrisch oder pneumatisch angetrieben)

          - Verstellbare Füße zum Nivellieren der Anlage

          - gesamte Anlage ist im unteren Bereich mit Bodenauffangwanne und -sensoren nach WHG zu versehen (bei Auslösung hat eine optische Signalisierung und DI-Wasserabschaltung innerhalb der Anlage zu erfolgen.

          - den Bereich unter der Prozessebene gleichzeitig als Aufbewahrungsmöglichkeit für Chemikalienflaschen ausführen und mit horizontalen Schiebetüren versehen

          - LED-beleuchteter Prozessbereich

          - Den Bereich zwischen den einzelnen Prozessbecken und auch unter den Prozessbecken mit einem durchgehenden Zwischenboden mit Abwasseranschluss versehen.

          - Integrierte Gehäuseabsaugung im Arbeits- und Unterbereich individuell über manuelle Schieber einstellbar, sowie mit äußeren Anschlüssen zu versehen. Eine Überwachung ist in das System zu integrieren

          - Gesamte Anlage ist als "manuelle Labor-Nassbank"-Ausführung zu gestalten, d.h. sie ist rundherum geschlossen

          - Prozessbereich

          - Perforierte Arbeitsplatte aus PP in entsprechender Farbe

          - Anordnung beim von links nach rechts gesehenem Prozessbereich mit einem integriertem Spin Coater, einem tiefgezogenen Quick-Dump-Rinse-Überlaufbecken und einem integrierten beheizbarem Ultraschallbecken

          - Die Innenmaße für das Spül- und dem Ultraschallbecken betragen ?260 x 260 x 300 mm Höhe

          - Spül- und Ultraschallbecken sind mit einem flach integriertem Griff im Deckel, bündig in Höhe der perforierten Arbeitsplatte zu versehen

          - Separate pneumatische Ansteuermöglichkeit des Entleerventils des Spülbeckens

          - Generelle DI-Wasserabsperrmöglichkeit direkt vor dem Spülbecken mit Betätigung dann aktivem Bypass

          - Quick Dump Rinse Überlaufbecken mit Low Flow, High Flow und Spray Funktion

          - Spülbecken mit Neutraabfluss

          - Ultraschallbecken mit 2 Abflussrichtungen, umschaltbar (Neutra und Lösemittel)

          - 1 x DI-Wasser-Pistole mit Rezirkulation

          - 1 x DI-Wasser-Standhahn für das Spülbecken

          - 1 x Stickstoff-Pistole

          - 1 x Vakuum-Pinzette

          - Spin Coater-Eigenschaften:

          - Geeignet für Halbleiteranwendung

          - Für Waferdurchm. 200 mm

          - Gewährleistung von Metallkontaminationsfreiheit

          - Spin Coater mit Controller für frei programmierbare Prozessrezepte

          - Prozessablauf unter Vakuum

          - Entleeranschluß absperrbar und nach unten (Restentleerung beachten!)

          - Separate Abflussleitung aus der Anlage heraus (Lösemittelabfluss)

      29. Award criteria:
          
      30. Information about options:
          Options: no
      31. Information about European Union funds:
          The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      32. Additional information:
          
      33. Title:
          

          Chemikalienschränke

      34. Additional CPV code(s):
          42000000, 38000000
          
      35. Place of performance:
          Main site or place of performance:

          IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

      36. Description of the procurement:
          

          - 1 Schrank (1 Schrank für Säuren und Laugen (räumliche Trennung) und 1 Schrank für Organik)

          - Größe jeweils ca. 600x600x2000 mm

          - Gefahrstoffschränke nach EN 14470-1 bzw. TRGS 510 (Anlage 3), die der Gefahrstoffverordnung und dem Wasserhaushaltsgesetz nach §19 entsprechen

          - Feuerwiderstandsfähigkeit 90 Minuten typgeprüft (Lösemittelschrank), GS geprüft

          - CE-Kennzeichnung

          - Schrank für Säuren und Laugen mit Kunststoffaußenhülle und für Lösemittel in Feinstahlblech-Ausführung mit Pulverbeschichtung

          - integrierte Auffangwannen / Auszugswannen aus PE

          - 3-6 pulverbeschichtete Fachböden

          - Fachböden im Raster in der Höhe verstellbar

          - Lüftungsgitter in Bodennähe für die vertikale Durchströmung

          - Abluftstutzen

          - Bodenauffangwanne

          - Flügeltür arretiert in jeder Position

          - selbsttätige Türenschließung nach Zeit und im Brandfall

          - Türdämpfung einstellbar

          - hochwertige Tu?rscharniere (Korrosionsbeständigkeit)

          - Potentialausgleichslaschen am Schrank für brennbare Flüssigkeiten

          - Fest integrierter, unterfahrbarer Sockel

      37. Award criteria:
          
      38. Information about options:
          Options: no
      39. Information about European Union funds:
          The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      40. Additional information:
          
3. Section IV
4. Description:
   1. Type of procedure:
      Open procedure
   2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
      
   3. Information about electronic auction:
      
   4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
      The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
5. Administrative information:
   1. Previous publication concerning this procedure:
      Notice number in the OJ S: 2022/S 150-426950
      
   2. Information about termination of dynamic purchasing system:
      
   3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
      

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