Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (оригинал извещения) (Германия - Тендер #47067182) | ||
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Страна: Германия (другие тендеры и закупки Германия) Организатор тендера: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) Номер конкурса: 47067182 Дата публикации: 13-10-2023 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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Laborausrüstung Innovationszentrum HH | Ion Beam Etching
Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.
Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.
Auftragsgegenstand
• Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung
• Service und Wartung gemäß Spezifikation
Detaillierte Beschreibung in Anlage 01 Leistungsbeschreibung (LB IBE) in den Vergabeunterlagen.
Handelsregisterauszug nicht älter als 3 Monate bei Angebotsabgabe
vgl. Vergabeunterlagen und Anlage 01 Leistungsbeschreibung
vgl. Vergabeunterlagen Anlage 02 Aufforderung zur Angebotsabgabe, sowie weitere Vergabeunterlagen.