Miscellaneous special-purpose machinery (оригинал извещения) (Германия - Тендер #41475988)

1. Abschnitt I
   1. Name und Adressen
      Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
      Hansastraße 27c
      München
      80686
      Germany
      E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
      
   2. Gemeinsame Beschaffung
      
   3. Kommunikation
      Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter
      https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16
      Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellenelektronisch via: https://vergabe.fraunhofer.de
      
      
   4. Art des öffentlichen Auftraggebers:
      Andere: Forschung und Entwicklung
      
   5. Haupttätigkeit(en):
      Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
      
2. Abschnitt II
   1. Umfang der Beschaffung:
      1. Bezeichnung des Auftrags:
         

         Ionenimplantationsanlage - PR370600-2790-W

         Referenznummer der Bekanntmachung: PR370600-2790-W
         
      2. CPV-Code Hauptteil:
         42990000
         
      3. Art des Auftrags:
         Lieferauftrag
         
      4. Kurze Beschreibung:
         

         Ionenimplantationsanlage

      5. Geschätzter Gesamtwert:
         
         
      6. Angaben zu den Losen:
         Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   2. Beschreibung
      1. Bezeichnung des Auftrags:
         
      2. Weitere(r) CPV-Code(s):
         
         
      3. Erfüllungsort:
         Hauptort der Ausführung:

         Fraunhofer IISB

         Schottkystr. 10

         91058 Erlangen

         Deutschland

      4. Beschreibung der Beschaffung:
         

         Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 μA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen.

         Zusätzlich soll die Anlage eine zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) besitzen, die lokale Co-Dotierung, Farbzentrenerzeugung und klassische FIB-Schnitte ermöglicht.

         Jede Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen.

         Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich.

         Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen.

         Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem:

         - ToF-Sekundärionen-Massenspektrometer

         - Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas

         - Flood Gun zur Ladungskompensation

         - Sekundärelektronendetektoren

         - Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional)

         - Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional)

         Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst.

      5. Zuschlagskriterien:
         Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
      6. Geschätzter Wert:
         
         
      7. Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems:
         Laufzeit in Monaten: 19
         Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
         
      8. Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden:
         
      9. Angaben über Varianten/Alternativangebote:
         Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
         
      10. Angaben zu Optionen:
          Optionen: nein
      11. Angaben zu elektronischen Katalogen:
          
          
      12. Angaben zu Mitteln der Europäischen Union:
          Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
      13. Zusätzliche Angaben:
          
3. Abschnitt III
   1. Teilnahmebedingungen:
      1. Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister:
         Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      2. Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
         Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      3. Technische und berufliche Leistungsfähigkeit:
         Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      4. Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen:
         
   2. Bedingungen für den Auftrag:
      1. Angaben zu einem besonderen Berufsstand:
         Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:

         Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

      2. Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal:
         
4. Abschnitt IV
5. Beschreibung:
   1. Verfahrensart:
      Offenes Verfahren
   2. Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem:
      
   3. Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs:
      
   4. Angaben zur Verhandlung:
      
   5. Angaben zur elektronischen Auktion:
      
   6. Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA):
      Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
6. Verwaltungsangaben:
   1. Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren:
      
   2. Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge:
      Tag: 2023-06-01
      Ortszeit: 10:30
      
   3. Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber:
      
   4. Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:
      DE
   5. Bindefrist des Angebots:
      Das Angebot muss gültig bleiben bis: 2023-07-30
      (ab dem Schlusstermin für den Eingang der Angebote)
      
   6. Bedingungen für die Öffnung der Angebote:
      Tag: 2023-06-01
      Ortszeit: 10:30
      Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

      entfällt

Источник закупки

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