Miscellaneous special-purpose machinery (Германия - Тендер #41475988)

1. Section I
   1. Name and addresses
      Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
      Hansastraße 27c
      München
      80686
      Germany
      E-mail: einkauf@zv.fraunhofer.de
      
   2. Joint procurement
      
   3. Communication
      The procurement documents are available for unrestricted and full direct access, free of charge, at
      https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16
      Additional information can be obtained from the abovementioned addresselectronically via: https://vergabe.fraunhofer.de
      
      
   4. Type of the contracting authority:
      Other type: Forschung und Entwicklung
      
   5. Main activity:
      Other activity: Forschung und Entwicklung
      
2. Section II
   1. Scope of the procurement:
      1. Title:
         

         Ionenimplantationsanlage - PR370600-2790-W

         Reference number: PR370600-2790-W
         
      2. Main CPV code:
         42990000
         
      3. Type of contract:
         Supplies
         
      4. Short description:
         

         Ionenimplantationsanlage

      5. Estimated total value:
         
         
      6. Information about lots:
         This contract is divided into lots: no
   2. Description
      1. Title:
         
      2. Additional CPV code(s):
         
         
      3. Place of performance:
         Main site or place of performance:

         Fraunhofer IISB

         Schottkystr. 10

         91058 Erlangen

         Deutschland

      4. Description of the procurement:
         

         Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 μA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen.

         Zusätzlich soll die Anlage eine zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) besitzen, die lokale Co-Dotierung, Farbzentrenerzeugung und klassische FIB-Schnitte ermöglicht.

         Jede Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen.

         Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich.

         Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen.

         Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem:

         - ToF-Sekundärionen-Massenspektrometer

         - Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas

         - Flood Gun zur Ladungskompensation

         - Sekundärelektronendetektoren

         - Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional)

         - Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional)

         Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst.

      5. Award criteria:
         Price is not the only award criterion and all criteria are stated only in the procurement documents
      6. Estimated value:
         
         
      7. Duration of the contract, framework agreement or dynamic purchasing system:
         Duration in months: 19
         This contract is subject to renewal: no
         
      8. Information about the limits on the number of candidates to be invited:
         
      9. Information about variants:
         Variants will be accepted: no
         
      10. Information about options:
          Options: no
      11. Information about electronic catalogues:
          
          
      12. Information about European Union funds:
          The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      13. Additional information:
          
3. Section III
   1. Conditions for participation:
      1. Suitability to pursue the professional activity, including requirements relating to enrolment on professional or trade registers:
         List and brief description of conditions:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      2. Economic and financial standing:
         List and brief description of selection criteria:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      3. Technical and professional ability:
         List and brief description of selection criteria:

         Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-187dd98ebd6-36ca47a3b1843c16

      4. Information about reserved contracts:
         
   2. Conditions related to the contract:
      1. Information about a particular profession:
         Contract performance conditions:

         Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

      2. Information about staff responsible for the performance of the contract:
         
4. Section IV
5. Description:
   1. Type of procedure:
      Open procedure
   2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
      
   3. Information about reduction of the number of solutions or tenders during negotiation or dialogue:
      
   4. Information about negotiation:
      
   5. Information about electronic auction:
      
   6. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
      The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
6. Administrative information:
   1. Previous publication concerning this procedure:
      
   2. Time limit for receipt of tenders or requests to participate:
      Date: 2023-06-01
      Local time: 10:30
      
   3. Estimated date of dispatch of invitations to tender or to participate to selected candidates:
      
   4. Languages in which tenders or requests to participate may be submitted:
      DE
   5. Minimum time frame during which the tenderer must maintain the tender:
      Tender must be valid until: 2023-07-30
      (from the date stated for receipt of tender)
      
   6. Conditions for opening of tenders:
      Date: 2023-06-01
      Local time: 10:30
      Information about authorised persons and opening procedure:

      entfällt

Источник закупки

Импорт - Экспорт по стране Германия