Depot system (Франция - Тендер #48194942) | ||
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Страна: Франция (другие тендеры и закупки Франция) Организатор тендера: Centre National de la Recherche Scientifique Номер конкурса: 48194942 Дата публикации: 17-11-2023 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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Fourniture, installation, mise en service et formation d’un bâti de dépôt de films minces métalliques par évaporation sous vide par canons à électrons pour le C2N CNRS
Reference number: 23029 C2NL’équipement sera dédié à la réalisation de films minces métalliques. Le système devra permettre le dépôt de 6 matériaux différents (or, platine, chrome, titane, germanium, aluminium par exemple). Un système de gravure in-situ permettra la gravure de quelques nanomètres de profondeur de surface semi-conductrice et également le retrait des traces résiduelles de résine lors de procédé de lift-off. L’homogénéité et la reproductibilité du système de gravure est un des points importants de l’équipement. Le système sera prévu pour un usage en salle blanche de classe ISO6 (classe 1000).
Centre de nanosciences et de nanotechnologies (C2N/CNRS)
10 boulevard Thomas Gobert
91120 PALAISEAU
Les prestations comprennent à minima:
- Le lancement de la fabrication
- La livraison
- L’installation
- La mise en service
- La documentation
- La formation.
- La garantie d’un an
Une prestation supplémentaire éventuelle obligatoire n°1 que le C2N/CNRS s’est réservé le droit d’accepter ou de refuser avant la signature du marché. Cette PSE consiste à fournir un système de chauffage du porte substrat qui permet d’atteindre 700°C avec un porte substrat adapté.
Fourniture, installation, mise en service et formation d’un bâti de dépôt de films minces métalliques par évaporation sous vide par canons à électrons pour le C2N CNRS
Une prestation supplémentaire éventuelle obligatoire n°1 que le C2N/CNRS s’est réservé le droit d’accepter ou de refuser avant la signature du marché. Cette PSE consiste à fournir un système de chauffage du porte substrat qui permet d’atteindre 700°C avec un porte substrat adapté.
Précisions concernant les recours susceptibles d"être introduits à l"encontre de la procédure ou du marché, ainsi que sur les délais d"introduction de ces recours: — référé précontractuel prévu aux articles L. 551-1 à L. 551-12 du code de justice administrative (CJA), pouvant être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu"à la signature du marché, — référé contractuel prévu aux articles L. 551-13 à L. 551-23 du CJA, pouvant être exercé dans les délais prévus à l"article R. 551-7 du CJA, — recours de pleine juridiction contestant la validité du marché dans un délai de 2 mois à compter de l"accomplissement des mesures de publicité appropriées au sens de la décision département de Tarn-et-Garonne (CE, Ass., 4.4.2014, n° 358994). Ce recours en contestation de validité peut être assorti d"une demande tendant, sur le fondement de l"article L. 521-1 du code de justice administrative, à la suspension de l"exécution du contrat».
Greffe du Tribunal administratif de Versailles