Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD (Люксембург - Тендер #71857944) | ||
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Страна: Люксембург (другие тендеры и закупки Люксембург) Организатор тендера: GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE Номер конкурса: 71857944 Дата публикации: 15-04-2026 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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GREFFE DU TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE (ID: ORG-0003)
Address: 2 Place de Verdun, Boite Postale 1135, GRENOBLE CEDEX, 38022
Contacts:
Tel: 04 76 42 90 00
Email: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Web: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
Company ID: 17800053
CEA/GRENOBLE (ID: ORG-0004)
Address: 17 avenue des Martyrs, Grenoble, 38054
Contacts:
Tel: 0438783071
Email: syrga.turganalieva@cea.fr
Company ID: 775 685 019 00298
Publications Office of the European Union (ID: ORG-0000)
Address: , Luxembourg, 2417
Contacts:
Tel: +352 29291
Email: ted@publications.europa.eu
Web: https://op.europa.eu
Company ID: PUBL
Description: Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD. L’équipement sera multi-chambres et devra inclure au moins 5 chambres de dépôt, une plateforme de transfert sous vide, une chambre d’oxydation dédiée, une chambre de pré-nettoyage et un module de dégazage. Le port de chargement devra permettre d’accueillir au moins 3 FOUPs Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Option obligatoire : OPT1 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1 du cahier des charges) - Options facultatives : OPT2 : Échangeurs de chaleur / Refroidisseurs (§3.2.6 du cahier des charges) OPT3 : Transformateur d"alimentation électrique (§4.1.4 du cahier des charges) OPT4 : Formation de maintenance de 1er niveau (§9 du cahier des charges) OPT5 : Formation de maintenance de niveau avancé (§9 du cahier des charges)
Issue Date: 10.04.2026 00:00
CPV Codes: 31700000, 31712100
Documentation: