Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration (Германия - Тендер #72711050) | ||
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Страна: Германия (другие тендеры и закупки Германия) Организатор тендера: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Номер конкурса: 72711050 Дата публикации: 06-06-2026 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED Осталось 24 дней |
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IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (ID: ORG-0001)
Address: Im Technologiepark 25, Frankfurt (Oder), 15236
Contacts:
Tel: +49 335-5625337
Email: vergabestelle@ihp-microelectronics.com
Company ID: DE138996546
Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE) (ID: ORG-0002)
Address: Heinrich-Mann-Allee 107, Potsdam, 14473
Contacts:
Tel: +49 331866-1719
Email: Vergabekammer@MWAE.brandenburg.de
Web: https://mwae.brandenburg.de
Company ID: t:0331866-1719
Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) (ID: ORG-0003)
Address: , Bonn, 53119
Contacts:
Tel: +49228996100
Email: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Company ID: 0204:994-DOEVD-83
Description: Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
Issue Date: 03.06.2026 22:00
CPV Codes: 42990000, 31712100
Documentation: