maskenloses UV-Direktlithographie-System (Германия - Тендер #72489154) | ||
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Страна: Германия (другие тендеры и закупки Германия) Организатор тендера: Friedrich-Schiller-Universität Jena Номер конкурса: 72489154 Дата публикации: 23-05-2026 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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Friedrich-Schiller-Universität Jena (ID: ORG-0001)
Address: , Jena, 07743
Contacts:
Tel: 000
Email: vergabestelle@uni-jena.de
Company ID: DE150546536
Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer (ID: ORG-0002)
Address: , Weimar, 99423
Contacts:
Tel: 0361 57332 1254
Email: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de
Company ID: 11111
Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) (ID: ORG-0003)
Address: , Bonn, 53119
Contacts:
Tel: +49228996100
Email: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Company ID: 0204:994-DOEVD-83
Description: Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2
Issue Date: 20.05.2026 22:00
Submission Deadline: 23.05.2026 08:00
CPV Codes: 38000000
Documentation: