Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie (оригинал извещения) (Германия - Тендер #71857680) | ||
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Страна: Германия (другие тендеры и закупки Германия) Организатор тендера: Friedrich-Schiller-Universität Jena Номер конкурса: 71857680 Дата публикации: 15-04-2026 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
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Friedrich-Schiller-Universität Jena (ID: ORG-0001)
Address: , Jena, 07743
Contacts:
Tel: 000
Email: vergabestelle@uni-jena.de
Company ID: DE150546536
Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer (ID: ORG-0002)
Address: , Weimar, 99423
Contacts:
Tel: 0361 57332 1254
Email: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de
Company ID: 11111
Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) (ID: ORG-0003)
Address: , Bonn, 53119
Contacts:
Tel: +49228996100
Email: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Company ID: 0204:994-DOEVD-83
Description: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
Issue Date: 12.04.2026 22:00
Submission Deadline: 15.04.2026 08:00
CPV Codes: 38000000
Documentation: