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DRIE-Anlage (Германия - Тендер #70354639)

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Страна: Германия (другие тендеры и закупки Германия)
Организатор тендера: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Номер конкурса: 70354639
Дата публикации: 30-01-2026
Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED

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Регистрация

DRIE-Anlage

Organizations:

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) (ID: ORG-0001)

Address: Linder Höhe, Köln, 51147

Contacts:
Tel: 0 00
Email: evergabe@dlr.de
Web: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html

Company ID: Leitweg-ID 992-03005-81

Vergabekammer des Bundes (ID: ORG-0002)

Address: Kaiser-Friedrich-Straße 16, Bonn, 53113

Contacts:
Tel: +492289499578
Email: vk@bundeskartellamt.bund.de
Web: https://bundeskartellamt.de

Company ID: t:022894990

Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) (ID: ORG-0003)

Address: , Bonn, 53119

Contacts:
Tel: +49228996100
Email: noreply.esender_hub@bescha.bund.de

Company ID: 0204:994-DOEVD-83

Description: Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Issue Date: 27.01.2026 02:00

Submission Deadline: 30.01.2026 12:00

CPV Codes: 38000000

Documentation: https://www.subreport.de/E36312695

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