FEOL ETCH CLUSTER (Бельгия - Тендер #67464191) | ||
| ||
| Для перевода текста тендера на нужный язык воспользуйтесь приложением: | ||
Страна: Бельгия (другие тендеры и закупки Бельгия) Организатор тендера: Imec EU Pilot line NV Номер конкурса: 67464191 Дата публикации: 03-10-2025 Источник тендера: Единая система закупок Европейского союза TED |
||
Imec EU Pilot line NV (ID: ORG-0001)
Address: Kapeldreef 75, Heverlee, 3001
Contacts:
Tel: +32 16287789
Email: tom.wauters@imec.be
Company ID: 1004987603_21101
FOD Beleid en Ondersteuning (ID: ORG-0002)
Address: Simon Bolivarlaan 30, bus 1, Brussel, 1000
Contacts:
Tel: +32 2 740 80 00
Email: revise@publicprocurement.be
Web: https://bosa.belgium.be
Company ID: BE001
Rechtbank van eerste aanleg - arrondissement Leuven (ID: ORG-0003)
Address: , Leuven , 3000
Company ID: 0308375753
Description: 300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Issue Date: 30.09.2025 01:00
CPV Codes: 38000000
Documentation: