DOSTAWA LABORATORYJNEGO SYSTEMU DO FIZYCZNEGO OSADZANIA Z FAZY GAZOWEJ (PVD) DLA CENTRUM MATERIAŁÓW POLIMEROWYCH I WĘGLOWYCH PAN W ZABRZU, UL. MARII CURIE-SKŁODOWSKIEJ 34 (Польша - Тендер #70431002) | ||
| ||
| Для перевода текста тендера на нужный язык воспользуйтесь приложением: | ||
Страна: Польша (другие тендеры и закупки Польша) Организатор тендера: CENTRUM MATERIAŁÓW POLIMEROWYCH I WĘGLOWYCH POLSKIEJ AKADEMII NAUK Номер конкурса: 70431002 Дата публикации: 02-02-2026 Источник тендера: ezamowienia.gov.pl |
||
Zamówienie klasyczne - od 130 000 zł, ale o wartości mniejszej niż progi unijne
Nie
Zamówienie udzielane jest w trybie podstawowym na podstawie: art. 275 pkt 1 ustawy
Dostawy
DOSTAWA LABORATORYJNEGO SYSTEMU DO FIZYCZNEGO OSADZANIA Z FAZY GAZOWEJ (PVD) DLA CENTRUM MATERIAŁÓW POLIMEROWYCH I WĘGLOWYCH PAN W ZABRZU, UL. MARII CURIE-SKŁODOWSKIEJ 34
Dostawa laboratoryjnego systemu do fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Zamawiany system winien spełniać następujące wymagania techniczne:
1. Konstrukcja i rozmiar:
• Kompaktowa konstrukcja stołowa lub wolnostojąca
• Komora i komponenty wykonane z materiałów odpornych na działanie wysokiej próżni (przykładowo stal nierdzewna, aluminium)
• Uchylne wieko lub drzwi umożliwiające łatwy załadunek próbek
• Objętość komory procesowej nie mniejsza niż 10 dm3
• Mile widziana możliwość obserwacji procesu w komorze procesowej (np. przez okno poglądowe lub równoważne rozwiązanie)
2. Źródła depozycji i zasilanie:
• Minimum dwa działa magnetronowe kompatybilne z targetami o średnicy 2”
• Zasilacz RF o mocy nie mniejszej niż 300 W
• Zasilacz DC o mocy nie mniejszej niż 750 W
• Urządzenie musi umożliwiać jednoczesną pracę tzw. kodepozycję z co najmniej dwóch źródeł
• Mile widziana możliwość rozbudowy o trzecie źródło
3. Układ gazowy:
• Minimum dwie linie gazowe z MFC (np. Ar + gaz reaktywnego np. O2/N2/CH4)
• Mile widziana możliwość rozbudowy o dodatkową linie gazową
4. Parametry stolika:
• Możliwość mocowania próbek do 4”
• Wyposażenie w automatyczną przesłonę
• Możliwość rozbudowy o moduł grzewczy (min 500 °C lub więcej)
• Stolik obrotowy w zakresie 2-20 rpm
• Mile widziana możliwość polaryzacji stolika
5. Kontrola procesu osadzania
• Czujnik kwarcowy (QCM) do monitorowania procesu osadzania i grubości warstwy
• Wbudowany sterownik lub komputer z oprogramowaniem umożliwiającym ustawianie parametrów procesu, zapisywanie receptur i eksport danych do formatów CSV, TXT lub równoważnych
6. Układ próżniowy
• Pompa wstępna membranowa lub olejowa (w przypadku pompy olejowej filtr mgły olejowej wymagany) o minimalnej wydajności 2 m3/h
• Pompa turbomolekularna o prędkości pompowania dla azotu nie mniejszej niż 66 l/s
• Osiągalne ciśnienie bazowe w komorze 5x10-7 mbar
7. Dostawa i serwis
• Dostawa, instalacja i szkolenie personelu w języku polskim lub angielskim
• Cena oferty obejmuje transport, ubezpieczenie, odprawę celną oraz należności importowe
• Gwarancja min 24 miesiące
• Deklaracja zgodności CE
• Mile widziane zdalne wsparcie serwisowe lub lokalne w przeciągu 72h od zgłoszenia awarii
nie dotyczy