Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie (Германия - Тендер #71820381)

Ausschreibungsdetails Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie

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14.04.2026

Abgabefrist Angebot:

19.05.2026 10:00

Geschäftszeichen:

EU-OV/2026-28

Anzahl Lose:

1

Abgabe von Teilnahmeanträgen/
Angeboten für:

Verfahren

Vergabestelle:

Thüringen: Friedrich-Schiller-Universität Jena

Letzte Änderung:

14.04.2026 04:30

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Ausschreibungsunterlagen einsehen 1 Beschaffer 1.1 Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena Art des öffentlichen Auftraggebers: Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Bildung 2 Verfahren 2.1 Verfahren Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden.
Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171,
bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo
genität bestimmt wird.
Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L
x B x H = 300mm × 275mm × 15mm.
Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2. Kennung des Verfahrens: 308081f0-14d6-4e63-950d-bf5467850b37 Interne Kennung: EU-OV/2026-28 Verfahrensart: Offenes Verfahren Beschleunigtes Verfahren: nein 2.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Hauptklassifizierungscode (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2.1.2 Erfüllungsort NUTS-3-Code: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) Land: Deutschland 2.1.4 Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv -  2.1.6 Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Rein nationale Ausschlussgründe: Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen. 5 Los 5.1 Interne Referenz-ID Los: LOT-0001 Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden.
Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171,
bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo
genität bestimmt wird.
Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L
x B x H = 300mm × 275mm × 15mm.
Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2. Interne Kennung: EU-OV/2026-28 5.1.1 Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Hauptklassifizierungscode (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 5.1.2 Erfüllungsort NUTS-3-Code: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) Land: Deutschland Zusätzliche Angaben zum Erfüllungsort:  5.1.3 Geschätzte Dauer Sonstige Angaben zur Dauer: Unbekannt 5.1.6 Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja Diese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): nein 5.1.7 Strategische Auftragsvergabe Art der strategischen Beschaffung: Keine strategische Beschaffung 5.1.9 Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung: • Unternehmensdarstellung
o Allgemeine Unternehmensdarstellung
o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde)
o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
• Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz Beschreibung: #Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches.
Berücksichtigt werden Bieter, die 368.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben.
#Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr) pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 €, Sach- und Umweltschäden 500.000 €, Vermögensschäden 100.000 €. Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen. Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen Beschreibung: #Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge
Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender Leistung inhaltlich und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2) mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der Eignungsprüfung berücksichtigt werden.
Die Referenzen müssen mindestens die folgenden Angaben enthalten:
Name des Unternehmens (Referenzgeber)
Ansprechpartner beim Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail)
Art der ausgeführten Leistung
Ausführungszeitraum / Vertragslaufzeit
Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen. 5.1.10 Zuschlagskriterien Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien ausgedrückt werden kann: Der Zuschlag wird nach § 58 VgV auf das unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Zur Ermittlung des wirtschaftlichsten Angebotes werden ausschließlich die nachfolgenden Kriterien angesetzt:
1) Gesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B. Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt). * */ max. 40 % (bis zu 40 Wertungspunkte)
* Hierbei gilt, dass der beste (günstigste) Preis die maximale Prozentzahl erhält. Das 2-fache des besten Preises entspricht 0%. Alle weiteren Angebote werden entsprechend Ihrer Abweichungen linear interpoliert. Der geringste erreichbare Wert ist 0%.
2) Gewünschte technische Ausführung mit zusätzlicher Wertung, max. 60 %, entspricht bis zu 60 Wertungspunkten - siehe Vergabeunterlagen. 5.1.11 Auftragsunterlagen Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=852705 5.1.12 Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992 Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Nebenangebote: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 19/05/2026 10:00 Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 1 Monat Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen. Zusätzliche Informationen: Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten
Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein.
Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes.

Eigenerklärungen:

• Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
• Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2)
• Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5)
• Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
• Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7)

Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG). Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Datum des Eröffnungstermins: 19/05/2026 10:05 Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja Wesentliche Finanzierungs- und Zahlungsbedingungen.: Kauf auf Rechnung (Vorauszahlungsrechnung), 30 Tage Zahlungsziel - Es wird mit Zuschlagserteilung eine Bürgschaft fällig.

Hinweis: Eine Vorauszahlung gegen Bankbürgschaft in Höhe des Bruttoauftragswertes
wird in Absprache vereinbart. Der Auftragnehmer reicht dazu umgehend nach Zu
schlagserteilung eine Rechnung und Bürgschaft ein. Die Kosten sind einzukalkulieren und
werden nicht vergütet. Anforderung: Bankbürgschaft eines europäischen Kreditinstituts /
Bank, zudem selbstschuldnerisch und unbefristet, Zinsen und Kosten ein-geschlossen, un
ter Verzicht auf die Einreden der Anfechtbarkeit, der Aufrechenbarkeit und der Voraus
klage gemäß § 770, 771 BGB. Die Bürgschaft kann nach erfolgreicher Abnahme zurückge
fordert werden. Eine Befristung ist unzulässig. 5.1.15 Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem 5.1.16 Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer Informationen über die Überprüfungsfristen: Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen
Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen bestimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsabschluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zuschlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist.

Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Abteilung Einkauf
07743 Jena
Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an:
vergabestelle@uni-jena.de
Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen.

Rügen
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann.

Stelle für Nachprüfungsverfahren
Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden:
Vergabekammer
beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Jorge-Semprún-Platz 4
99423 Weimar
Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen. 8 Organisationen 8.1 ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena Identifikationsnummer: DE150546536 Ort: Jena Postleitzahl: 07743 NUTS-3-Code: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) Land: Deutschland E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de Telefon: 000 Rollen dieser Organisation: Beschaffer 8.1 ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer Identifikationsnummer: 11111 Ort: Weimar Postleitzahl: 99423 NUTS-3-Code: Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05) Land: Deutschland E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de Telefon: 0361 57332 1254 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f8fa207d-e9c3-4b64-b5f0-0494f6f92b79 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 13/04/2026 09:47 Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch  Ausschreibungsunterlagen einsehen PDF XML XVergabe GUID: 308081f0-14d6-4e63-950d-bf5467850b37 Link zu dieser Bekanntmachung: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=852705&cookieCheck Seitenfunktionen App-Session-Id: c9147e0f-ea5e-4887-b766-68aa9b106624 Sitzung erneuern

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