mas­ken­lo­se Li­tho­gra­phie­platt­form zur Er­zeu­gung hoch­prä­zi­ser Mi­kro- und Na­no­struk­tu­ren in­klu­si­ve ei­ner Soft­ware zur Ge­rä­te­steue­rung und Mus­ter­er­stel­lung (Германия - Тендер #65497226)

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